技术参数 膜厚范围：0-30000nm 折射指数：± 0.0001 厚度准确度：± 0.01nm 入射角度：20 - 90° 波长范围：250-1100nm（深紫外、近红外、红外可选） Psi=±0.01°，Delta=±0.02° 主要特点 高精度测量； 变角度功能； 全光谱测量；仪器介绍 ***高精度光谱椭偏仪！可以精确测量折射指数、消光系数（n & K)，膜厚等，广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料，单层薄膜和多层膜。***客户包括US Army Research Lab，NASA，NIST，UC Berkeley，MIT，Harvard，Honeywell和Sharp Microelectronics等； 根据客户需求，可提供不同型号： 变角度单波长椭偏仪（632.8nm）； 变角度多波长椭偏仪（532, 632.8, 1064nm, …）； 变角度光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）； 全自动光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）； 红外光谱椭偏仪等；