◆ 设备外形尺寸

 630(W)×650(D)×420(H)mm

 ◆ 仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃，约10升)

Φ215 × 300(L) mm

  ◆ 电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

180(W) ×210(D) mm

频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

  ◆ 控制系统

触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统

德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

 SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

  ◆ 压力控制

PID闭环自动稳压控制

2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路