◆ 外形尺寸

  570(W)×420(D)×740(H)mm

  ◆ 仓体结构(不锈钢，约20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm

  ◆ 电极面积

 250(W) ×190(D) mm,3层  

RIE or DP模式自动转换

◆ 等离子发生器(韩国KM)

  频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

  ◆ 控制系统

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件，

性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统

德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

  ◆ 压力控制

PID闭环自动稳压控制

2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路