◆ 外形尺寸(不包括报警灯)

 1000(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 仓体结构(石英，约20升)

 Φ 245mm ×400Lmm  

 ◆ 等离子发生器(德国)

频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

英国爱德华斡旋式干泵 GV40

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件