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世界***薄膜热应力测量系统(薄膜应力仪,薄膜应力计,薄膜应力测试仪),MOS多光束技术荣获美国专利技术!同时KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee!该设备已经广泛被全球***高等学府(如:Harvard University 2套,Stanford University,Johns Hopkins University,Brown Universit...
更新: 2011-04-18
主营: 原子层沉积,应力仪,应力计,太阳能模拟器,光谱椭偏仪,精密离子减薄,划痕仪,硬度计,...
世界***薄膜应力测量系统,又名薄膜应力计或薄膜应力仪!MOS美国专利技术!曾荣获2008 Innovation of the Year Awardee!采用非接触MOS激光技术;不但可以精确的对样品表面应力分布进行统计分析,而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析;并且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一...
更新: 2011-04-18
主营: 原子层沉积,应力仪,应力计,太阳能模拟器,光谱椭偏仪,精密离子减薄,划痕仪,硬度计,...
技术参数 1.扫描分辨率:2 μm ; 2.平均曲率分辨率:< 2e-5 (1/m) 1-sigma (50km radius) 1-sigma; 3.平均翘曲测量重复性:< 5e-6 (radians) 1-sigma; 4.平均曲率重复性:<2×10-5 1/m (1 sigma) 主要特点 1.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全面积扫描; 2.实时原...
更新: 2011-04-18
主营: 原子层沉积,应力仪,应力计,太阳能模拟器,光谱椭偏仪,精密离子减薄,划痕仪,硬度计,...

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