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技术参数 膜厚范围:0-30000nm 折射指数:± 0.0001 厚度准确度:± 0.01nm 入射角度:20 - 90° 波长范围:250-1100nm(深紫外、近红外、红外可选) Psi=±0.01°,Delta=±0.02° 主要特点 高精度测量; 变角度功能; 全光谱测量;仪器介绍 ***高精度光谱椭...
更新: 2011-04-18
主营: 原子层沉积,应力仪,应力计,太阳能模拟器,光谱椭偏仪,精密离子减薄,划痕仪,硬度计,...

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