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技术参数 基底温度范围:高大800℃;主要特点 1,专业ALD设备制造商,提供专业的用于科研或研发级的ALD/PEALD设备及工艺; 2,可以选择横流式沉积模式、或top flow (showerhead喷淋花伞) 沉积模式或等离子体增强沉积模式; 3,提供2英寸~12英寸全套专业的原子层沉积系统方案; 4,Loadlock Chamber可快速加...
更新: 2011-04-18
主营: 原子层沉积,应力仪,应力计,太阳能模拟器,光谱椭偏仪,精密离子减薄,划痕仪,硬度计,...

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